泵(bèng)的(de)排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵(bèng)的級數和(hé)轉速有關外,還與氣(qì)體種(zhǒng)類有關。分子量大的氣體有高的壓(yā)縮比(bǐ)。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫(qīng)為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則(zé)大于1010。
西安(ān)上海凱泉分公司泵的極限真空度為10-9帕,工作壓力範圍為10-1~10-8帕(pà),抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升=10-3米)。渦輪(lún)分子泵必須在分(fèn)子流狀态(氣體分子(zǐ)的平均自由程遠大于導管(guǎn)截面.大尺寸的流(liú)态)下工作才能顯示出它的優越性,因此要求(qiú)配有(yǒu)工作壓力為1~10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉速為10000~60000轉/分的(de)中頻電動機直聯驅動。